[发明专利]垂直式平板式加热器在审
| 申请号： | 201410326465.6 | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105304463A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 曹承育 | 申请（专利权）人： | 英属开曼群岛商精曜有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/324 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 英属开曼群岛大开曼岛KY1-*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种垂直式平板式加热器，包含有一加热板、一第二支撑架、二夹持单元以及复数个压块。该加热板应用于一大尺寸基板。该二个夹持单元设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板的一上端边与一下端边。该复数个压块分别设置于该加热板的复数个端角。各压块用来抵接在该基板，以调整该加热板与该基板之间的平行度。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 平板 加热器 | ||
【主权项】：
一种垂直式平板式加热器，包含有：一加热板，其应用于一大尺寸基板；一第一支撑架；一第二支撑架；二夹持单元，设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板的一上端边与一下端边；至少一连结构件，连接该相对应夹持单元，且以可活动方式设置于该第一支撑架内；以及复数个压块，分别设置于该加热板的复数个端角，该夹持单元是由该第一支撑架与该连结构件沿着一第一方向移动，使得该加热板经由各压块活动地抵接在该基板，以调整该加热板相对该基板的平行度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英属开曼群岛商精曜有限公司，未经英属开曼群岛商精曜有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410326465.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
