[发明专利]带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法有效
| 申请号： | 201410323361.X | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104282517B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | J.A.诺特四世;F-F.拉曼;W.黄;S.麦克维伊 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种气体场离子源，包括壳体；布置在壳体内的导电尖端；气体供应器，将一种或多种气体供应至壳体，其中，所述一种或多种气体包括氖或具有质量大于氖的原子的惰性气体；以及引出电极，具有孔，以允许在尖端附近产生的离子穿过所述孔。引出电极的面向尖端的表面可由负二次离子溅射产量小于10‑5/入射氖离子的材料制成。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 系统 操作 方法 | ||
【主权项】：
一种气体场离子源，包括：壳体；导电尖端，布置在所述壳体内；气体供应器，将一种或多种气体供应至所述壳体，其中，所述一种或多种气体包括氖或具有质量大于氖的原子的惰性气体；引出电极，具有孔，以允许在所述尖端附近产生的离子穿过所述孔，其中，所述引出电极的面向所述尖端的表面由选择为负二次离子溅射产量小于10‑5/入射氖离子的材料制成，使得在所述气体场离子源的使用期间，所述引出电极产生相对低产量的从所述引出电极向所述尖端加速的负二次离子。
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