[发明专利]无机耐高温低红外发射率复合涂层及其制备方法有效
申请号: | 201410322666.9 | 申请日: | 2014-07-08 |
公开(公告)号: | CN104149410A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 李俊生;程海峰;周永江;郑文伟;童思超 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | B32B9/04 | 分类号: | B32B9/04;B32B15/04;C23C14/35 |
代理公司: | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人: | 段迎春 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种无机耐高温低红外发射率复合涂层,其为多功能层叠加结构,其由内往外依次包括氧化阻隔层、低发射率功能层以及保护膜,各层间以机械结合和固相扩散连接为主要结合方式,氧化阻隔层为ZnO-Al2O3-SiO2玻璃陶瓷薄膜,低发射率功能层为Pt薄膜,保护膜为TiO2薄膜;其制备步骤包括:将合金基材进行抛光处理,清洗、烘干;通过射频磁控溅射沉积玻璃陶瓷薄膜,然后通过直流磁控溅射沉积Pt薄膜;最后通过直流磁控溅射反应沉积TiO2薄膜。本发明的复合涂层产品可在800℃高温环境下连续使用500h以上,发射率和高温稳定性显著改善。 | ||
搜索关键词: | 无机 耐高温 红外 发射 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种无机耐高温低红外发射率复合涂层,该无机耐高温低红外发射率复合涂层为多功能层叠加结构,其特征在于,该多功能层叠加结构由内往外依次包括氧化阻隔层、低发射率功能层以及保护膜,各层间以机械结合和固相扩散连接为主要结合方式,其中,所述氧化阻隔层为ZnO‑Al2O3‑SiO2玻璃陶瓷薄膜,所述低发射率功能层为Pt薄膜,所述保护膜为TiO2薄膜。
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