[发明专利]玻璃陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201410322534.6 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104152853B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李俊生;程海峰;周永江;郑文伟;童思超 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司31242 | 代理人： | 段迎春 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃陶瓷靶材，包括合金背板和玻璃陶瓷本体，合金背板为耐高温镍基合金，玻璃陶瓷本体是通过丝网印刷工艺转移玻璃陶瓷粉体在前述合金背板上后烧结制备而成，合金背板与所述玻璃陶瓷本体通过固相扩散方式结合；其制备方法包括：将各原材料粉体混合，高温熔炼后进行淬冷，再通过球磨，烘干、过筛后得到玻璃粉；取有机载体和玻璃粉混合，球磨后得到玻璃浆料；在一合金背板上通过丝网印刷上述玻璃浆料，烘干后进行烧结处理；重复上述步骤直至得到所需厚度的玻璃陶瓷本体，将表面进行抛磨处理，得到玻璃陶瓷靶材。本发明能综合利用合金背板的导电性和导热性，降低靶材电荷积累和降温过程中靶材开裂失效的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃陶瓷靶材，包括合金背板和玻璃陶瓷本体，其特征在于，所述合金背板为耐高温镍基合金，所述玻璃陶瓷本体是通过丝网印刷工艺转移玻璃陶瓷粉体在前述合金背板上后烧结制备而成，所述合金背板与所述玻璃陶瓷本体通过固相扩散方式结合；所述玻璃陶瓷本体为ZnO‑Al2O3‑SiO2玻璃陶瓷，该玻璃陶瓷本体主要由ZnO、Al2O3、SiO2、BaO、CaCO3、TiO2、Co2O3按38～46∶15～25∶27～31∶1.8～2.7∶1～3∶3～6∶0.2～0.4的质量比混合熔炼制得。
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