[发明专利]真空电离镀膜机无效
| 申请号： | 201410316065.7 | 申请日： | 2014-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104046946A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈学兵 | 申请（专利权）人： | 苏州普京真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 刘述生 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空电离镀膜机，包括：真空室、电离头、真空管道、真空泵、靶子架、高压发生器和送料器，真空室一端设置有电离头，电离头后端设置有送料器，真空室另一端设置有真空管道，真空管道连接有真空泵，靶子架设置在真空管道前端，高压发生器设置在真空室外，高压发生器一端连接有电离头，另一端连接有靶子架。通过上述方式，本发明真空电离镀膜机具有可靠性能高、结构紧凑、镀膜效果好、镀膜速度快，成膜均匀，适合金属的快速镀膜、生产效率高、操作简便等优点，同时在镀膜领域上有着广泛的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电离 镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空电离镀膜机，其特征在于，包括：真空室、电离头、真空管道、真空泵、靶子架、高压发生器和送料器，真空室一端设置有电离头，电离头后端设置有送料器，真空室另一端设置有真空管道，真空管道连接有真空泵，靶子架设置在真空管道前端，高压发生器设置在真空室外，高压发生器一端连接有电离头，另一端连接有靶子架。
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