[发明专利]等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统有效
| 申请号： | 201410315611.5 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104121991A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈文聪;蒲以康 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01J3/40 | 分类号： | G01J3/40 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，包括：第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将平行光进行汇聚并形成汇聚点；窄带干涉滤光片设置在汇聚点和第二离轴抛物面镜之间，用于对由第二离轴抛物面镜反射的光信号进行色散，以得到色散后的光信号；图像采集器设置在所述汇聚点以采集等离子体的发光图像。本发明的系统，结构简单、测量效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发射光谱 二维 空间 分布 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，其特征在于，包括：第一离轴抛物面镜，所述第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，所述第一离轴抛物面镜和所述第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将所述平行光进行汇聚并形成汇聚点；窄带干涉滤光片，所述窄带干涉滤光片设置在所述汇聚点和所述第二离轴抛物面镜之间，用于对由所述第二离轴抛物面镜反射的光信号进行色散，以得到色散后的光信号；和图像采集器，所述图像采集器设置在所述汇聚点以采集等离子体的发光图像。
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