[发明专利]一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201410305359.X 申请日: 2014-06-27
公开(公告)号: CN104030357A 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 徐慢;王树林;沈凡;季家友;曹宏;石和彬;陈常连;薛俊;赵静;祝云;王亮 申请(专利权)人: 武汉工程大学
主分类号: C01G31/02 分类号: C01G31/02;C03C17/23
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 崔友明
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法,包括以下步骤:1)以预先处理过的石英玻璃为基底,采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜,通过控制旋涂转速、旋涂层数,制备不同厚度的凝胶薄膜,其中每层旋涂结束后,干燥;2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解:热处理温度100℃~300℃、热处理时间2~4h,然后在管式电阻炉中,N2气氛下热处理制备二氧化钒薄膜:热处理温度500℃~600℃、热处理时间30min~60min。本发明通过控制涂膜工艺、热处理温度制度控制,最终制得二氧化钒薄膜,该方法具有操作简单、生产效率高,膜与基材附着力高的特点。
搜索关键词: 一种 有机 溶胶 凝胶 制备 氧化 薄膜 方法
【主权项】:
一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法,其特征在于包括以下步骤:1)以预先处理过的石英玻璃为基底,采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜,通过控制旋涂转速、旋涂层数,制备不同厚度的凝胶薄膜,其中每层旋涂结束后,在80℃下真空干燥30min;2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解:热处理温度100℃~300℃、热处理时间2~4h,然后在管式电阻炉中,N2气氛下热处理制备二氧化钒薄膜:热处理温度500℃~600℃、热处理时间30min~60min。
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