[发明专利]一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法有效
| 申请号: | 201410305359.X | 申请日: | 2014-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN104030357A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
| 发明(设计)人: | 徐慢;王树林;沈凡;季家友;曹宏;石和彬;陈常连;薛俊;赵静;祝云;王亮 | 申请(专利权)人: | 武汉工程大学 |
| 主分类号: | C01G31/02 | 分类号: | C01G31/02;C03C17/23 |
| 代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 崔友明 |
| 地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法,包括以下步骤:1)以预先处理过的石英玻璃为基底,采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜,通过控制旋涂转速、旋涂层数,制备不同厚度的凝胶薄膜,其中每层旋涂结束后,干燥;2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解:热处理温度100℃~300℃、热处理时间2~4h,然后在管式电阻炉中,N2气氛下热处理制备二氧化钒薄膜:热处理温度500℃~600℃、热处理时间30min~60min。本发明通过控制涂膜工艺、热处理温度制度控制,最终制得二氧化钒薄膜,该方法具有操作简单、生产效率高,膜与基材附着力高的特点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 有机 溶胶 凝胶 制备 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法,其特征在于包括以下步骤:1)以预先处理过的石英玻璃为基底,采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜,通过控制旋涂转速、旋涂层数,制备不同厚度的凝胶薄膜,其中每层旋涂结束后,在80℃下真空干燥30min;2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解:热处理温度100℃~300℃、热处理时间2~4h,然后在管式电阻炉中,N2气氛下热处理制备二氧化钒薄膜:热处理温度500℃~600℃、热处理时间30min~60min。
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