[发明专利]一种自校准的变面积电容检测方法有效
| 申请号： | 201410292878.7 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104034249B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 金仲和;马威;朱辉杰;刘义冬 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自校准的变面积电容检测方法，该方法包括电容/电压转换模块、运动幅度信号提取模块、运动相位信号提取模块。本发明的检测电容为变面积结构，由矩形电极与三角形电极构成，利用检测电容与运动位移的非线性关系，由周期时变的检测电容转换的电压检测信号同时包含了1倍频谐波分量和2倍频谐波分量，通过两个谐波分量的相对关系来表征运动幅度信号和运动相位信号，能够消除信号处理电路中的增益与相位延迟对电容检测的影响，即实现了自校准功能。本发明原理简单，实现方便，能应用于各类电容式位移检测的谐振器结构，如微机械陀螺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 面积 电容 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种自校准的变面积电容检测方法，其特征在于检测电容为变面积结构，检测电容由可动矩形电极与固定三角形电极构成，或者由可动三角形电极与固定矩形电极构成，且三角形电极仅与矩形电极的一条长边交叠，检测电容与运动位移为非线性关系，由周期时变的检测电容转换的电压检测信号同时包含了1倍频谐波分量和2倍频谐波分量，通过两个谐波分量的相对关系来表征运动幅度信号和运动相位信号，能够消除信号处理电路中的增益与相位延迟对电容检测的影响，即实现了自校准功能。
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