[发明专利]非晶电介质膜以及电子部件

摘要

本发明的目的在于提供一种即使是在进一步对电介质膜实施薄膜化的情况下，也能够既维持相对介电常数和温度特性又提高耐电压的非晶电介质膜以及电子部件。本发明所涉及的非晶电介质膜的特征在于是一种由将A‑B‑O作为主成分的非晶组合物构成的电介质膜，A包含选自Ba、Ca、Sr中的至少两种以上元素，B包含Zr元素，在将所述电介质膜的主成分表示为(BaxCaySrz)α‑B‑O时，x、y、z分别为0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，x+y+z＝1，x、y、z中的至少任意两种为0.1以上，在将A/B表示为α时，0.5≤α≤1.5。

主权项

一种非晶电介质膜，其特征在于：是一种由将A‑B‑O作为主成分的非晶组合物构成的电介质膜，A包含选自Ba、Ca、Sr中的至少两种元素，B包含Zr元素，包含Zr元素的B进一步包含Ti元素，在将所述电介质膜的主成分表示为(BaxCaySrz)α‑(Ti1‑wZrw)‑O时，x、y、z分别为0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，x+y+z＝1，x、y、z中的至少任意两种为0.1以上，0.75≤w≤0.95，将A/B表示为α时，0.5≤α≤1.5。