[发明专利]鼠笼螺杆式复合分子泵有效

专利信息
申请号: 201410277012.9 申请日: 2014-06-20
公开(公告)号: CN104019043A 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 李晨;胡忠浩 申请(专利权)人: 李晨
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 章蔚强
地址: 200122 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种鼠笼螺杆式复合分子泵,由立式鼠笼分子泵和螺杆泵串联组合而成。该复合分子泵的抽气级由鼠笼抽气级和螺杆抽气级串联组合而成,具有结构简单紧凑高效的优点。当鼠笼螺杆式复合分子泵工作时,电机输出轴直连驱动复合分子泵抽气级,由鼠笼抽气级将来自进气口的气体分子集结压缩至鼠笼抽气级中心空间处,再由位于该处的螺杆抽气级对气体分子碰撞和压缩作用后,经复合分子泵内气道,将气体分子传输至排气口。鼠笼抽气级用来提高复合分子泵的抽速,螺杆抽气级用来增加复合分子泵的压缩比,提高复合分子泵的前级压力。本发明集鼠笼分子泵和螺杆泵的结构性能优势于一体,进一步提高和拓展了复合分子泵的抽气性能和应用范围。
搜索关键词: 螺杆 复合 分子
【主权项】:
一种包括基座[2]、泵壳[3]、电机[16]、动鼠笼[6]与静鼠笼[5]组成的鼠笼抽气级、螺杆轴[11]与螺杆叶片[7]组成的螺杆抽气级、进气口[12]、排气口[1]的鼠笼螺杆式复合分子泵,其特征在于:a.所述的鼠笼螺杆式复合分子泵的抽气级由鼠笼抽气级和螺杆抽气级串联组合而成;b.所述的螺杆抽气级位于鼠笼抽气级的中心空间处。
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