[发明专利]一种MOCVD石墨盘自动传递机构

摘要

一种MOCVD石墨盘自动传递机构，属于MOCVD装备制造技术领域。包括安装在反应室底板下面的固定座，升降直线导轨固接在固定座中上部；安装板固接在升降滑块上，在安装板上固接有两个轴承座组件，旋转轴紧配合安装在两个轴承座组件内套轴承的内圈上；直线推杆固接在固定座的下端，直线推杆的活动伸出端与铰接座相铰接，铰接座固接在与升降滑块固接在一起的轴承座上；步进电机固接在安装板下部；伸缩直线导轨固接在支撑板的中间；垫块固接在伸缩滑块上，石墨盘传递叉的底端固接在垫块上，无杆气缸固接在支撑板的后部，伸缩滑块固接在垫块上。本发明机构应用在MOCVD上，提供了一种位置精度高、结构简单、造价低、工作可靠的MOCVD石墨盘自动传递机构。

主权项

一种MOCVD石墨盘自动传递机构，包括安装在反应室底板下面的固定座，特征是：升降直线导轨竖向固定在固定座的中上部，在升降直线导轨上安装有可以在升降直线导轨上作上下移运动的升降滑块，在升降滑块上固接有安装板；在安装板的上部和中部固接有两个内套有轴承的上轴承座组件和下轴承座组件，旋转轴的中部和底部分别紧配合安装在上轴承座组件和下轴承座组件内套轴承的内圈上；直线推杆通过夹块用内六角螺钉固接在固定座的下端、升降直线导轨的底端，直线推杆的活动伸出端通过铰接孔与铰接座相铰接，铰接座固接在与升降滑块固接在一起的上轴承座组件的轴承座上；电机支撑座固接在固定座的中下部，步进电机固接在电机支撑座下部，步进电机的输出轴通过联轴器与旋转轴的底端连接，联轴器采用挠性结构，旋转位置检测光电开关固接在电机支撑座上部；在旋转轴的顶端固接有支撑板，在支撑板上的中间固接有伸缩直线导轨，在伸缩直线导轨上安装有可以在伸缩直线导轨上作水平移运动的伸缩滑块，在伸缩滑块上固接有垫块，在支撑板上的后部固接有无杆气缸；石墨盘传递叉的底端固接在垫块上，无杆气缸移动活塞座固接在垫块上；用于检测和控制石墨盘传递叉升降高度位置的光电开关安装在固定座上、升降直线导轨的后面，通过检测安装在升降滑块安装板侧面的光电开关检测板的位置变化，通过反馈信号闭环控制，保证石墨传递叉升降升降位置精确可靠。