[发明专利]一种蓝宝石面板的双面抛光工艺无效
申请号: | 201410272924.7 | 申请日: | 2014-06-18 |
公开(公告)号: | CN104015123A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 周群飞;饶桥兵;傅亮 | 申请(专利权)人: | 蓝思科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B39/06 | 分类号: | B24B39/06 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410329 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石面板的双面抛光工艺,包括如下步骤:第一步、将蓝宝石面板装夹放置在下抛光盘上,上、下抛光盘的表面粘贴有聚氨酯抛光垫用于对蓝宝石表面进行抛光;第二步、控制上抛光盘下移至与下抛光盘紧贴蓝宝石面板上、下表面;第三步、控制上、下抛光盘反向转动,同时注入抛光液,通过抛光垫对蓝宝石上、下表面同时抛光,同时上抛光盘对蓝宝石面板上表面加压,其中,上、下抛光盘的转速或者上抛光盘的压力,至少其中有一项是变化的。本发明有效增加抛光去除速率,缩短抛光的时间,提高抛光的效率,降低生产成本,还可以将表面研磨造成的划痕去除,并且达到抛亮抛透的效果,表面粗糙度Sa值小于0.40nm。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 面板 双面 抛光 工艺 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石面板的双面抛光工艺,其特征在于包括如下步骤:第一步、将蓝宝石面板装夹放置在下抛光盘上,所述上、下抛光盘的表面粘贴有聚氨酯抛光垫用于对蓝宝石表面进行抛光;第二步、控制上抛光盘下移至与下抛光盘紧贴蓝宝石面板上、下表面;第三步、控制上、下抛光盘反向转动,同时注入抛光液,通过抛光垫对蓝宝石上、下表面同时抛光,同时上抛光盘对蓝宝石面板上表面加压,其中,上、下抛光盘的转速或者上抛光盘的压力,至少其中有一项是变化的。
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