[发明专利]高吸收率太阳能薄膜有效

专利信息
申请号: 201410268647.2 申请日: 2014-06-17
公开(公告)号: CN104051553A 公开(公告)日: 2014-09-17
发明(设计)人: 齐红基;王虎;王斌;王胭脂;易葵 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/028
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种高吸收率太阳能薄膜,包括薄膜衬底和高吸收率太阳能薄膜的多层膜(100),所述的高吸收率太阳能薄膜包括四种膜层:AlN膜层、Si膜层、HfO2膜层和SiO2膜层共34层。实验表明,本发明高吸收率太阳能薄膜在正入射条件下实现了可见光波段吸收率大于94%,红外波段的发射率小于10%,该薄膜在太阳能电池系统中具有重要的实用前景。
搜索关键词: 吸收率 太阳能 薄膜
【主权项】:
一种高吸收率太阳能薄膜,其特征在于包括薄膜衬底(200)和高吸收率太阳能薄膜的多层膜(100),所述的高吸收率太阳能薄膜的多层膜(100)包括四种膜层:AlN膜层(3)、Si膜层(2)、HfO2膜层(3)和SiO2膜层(4)共34层,在所述的薄膜衬底(200)上依次的膜系结构为:膜层材料厚度(nm)膜层材料厚度(nm)1AlN1638.921AlN59.22Si1239.922Si1561.83AlN146.823AlN21.74Si153.524Si1557.25AlN237.125AlN50.16Si125.926Si745.47AlN167.827AlN371.48Si101.128Si11532.59AlN92.829HfO214.410Si121.730Si16.311AlN166.431AlN32.112Si141.532Si4.513AlN228.433HfO245.014Si152.734SiO285.015AlN149.035  16Si906.636  17AlN82.937  18Si203.538  19AlN89.839  20Si562.240  
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