[发明专利]微机械湿度传感器设备和相应的制造方法以及微机械传感器装置有效
| 申请号： | 201410267655.5 | 申请日： | 2014-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN104237329B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | J·弗兰茨;U·席勒 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实现了一种微机械湿度传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械湿度传感器设备(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)包括：衬底(1)，所述衬底具有前侧(V)和背侧(R)；设置在所述衬底(1)的前侧(V)的上方和/或下方的叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；位于所述叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的间隙上方和所述间隙中的潮湿敏感的聚合物层(10)。所述潮湿敏感的聚合物层(10)在所述前侧(V)的下方延伸到所述衬底(1)中。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 湿度 传感器 设备 相应 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机械湿度传感器设备(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)，其具有：衬底(1)，所述衬底具有前侧(V)和背侧(R)；设置在所述衬底(1)的前侧(V)的上方和/或下方的叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；位于所述叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的间隙上方和所述间隙中的潮湿敏感的聚合物层(10)；其中，所述潮湿敏感的聚合物层(10)在所述前侧(V)的下方延伸到所述衬底(1)中,其中，所述叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)具有设置在所述衬底(1)的前侧(V)上方的第一叉指印制导线装置(L1，L2，L3)和与所述第一叉指印制导线装置平行的、设置在所述衬底(1)的前侧(V)下方的第二叉指印制导线装置(L1a，L1b，L1c)，它们如此彼此重叠地设置，使得它们彼此电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410267655.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：轴用横波斜探头零点校准和K值的测量方法
- 下一篇：洗衣店西裤手法收衣工艺
