[发明专利]机器视觉检查系统和进行高速对焦高度测量操作的方法有效
| 申请号： | 201410265860.8 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN104236463B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | P·格拉德尼克 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包括照明源和摄像系统的机器视觉检查系统和用于进行高速对焦高度测量操作的方法。所述方法包括以下步骤：将工件放置在所述机器视觉检查系统的视场内；确定对焦高度测量操作所用的关注区域；使所述照明源进行工作，以利用频闪照明对所述工件进行照明；在所述工件附近的沿着Z高度方向的多个位置上，定期对所述摄像系统的焦点位置进行调制；收集图像栈，其中所述图像栈的各图像与频闪照明的实例相对应，所述频闪照明的实例与同所述图像栈内的适当Z高度相对应的调制后的焦点位置的相位一致；以及确定所述关注区域的至少一部分的Z高度测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 高度测量 机器视觉检查系统 图像栈 频闪 高速对焦 关注区域 焦点位置 摄像系统 照明源 调制 工件放置 相位一致 对焦 图像 | ||
【主权项】：
1.一种用于在机器视觉检查系统中进行高速的对焦高度测量操作的方法，所述机器视觉检查系统包括照明源和包含照相机系统的摄像系统，所述方法包括以下步骤：将工件放置在所述机器视觉检查系统的视场内；确定对焦高度测量操作所用的关注区域；使所述照明源进行工作，以利用频闪照明对所述工件进行照明；在所述工件附近的沿着Z高度方向的多个位置上，定期对所述摄像系统的焦点位置进行调制，其中所述Z高度方向沿着所述摄像系统的光轴；收集包括聚焦于各Z高度的各图像的图像栈，其中使用频闪照明的实例来对所述图像栈的各图像进行曝光，所述频闪照明的实例被定时成与同所述图像栈内的Z高度相对应的定期调制后的焦点位置的相位一致；以及基于分析所述图像栈来确定所述关注区域的至少一个部分的Z高度测量值，以确定与所述关注区域的所述至少一个部分的最佳焦点位置相对应的Z高度。
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