[发明专利]自适应共光路光栅干涉仪及其实现方法有效
| 申请号： | 201410261633.8 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN104048597B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 韦春龙;周常河;向显嵩;卢炎聪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种自适应共光路光栅干涉仪，包括相对运动的光栅尺、角锥棱镜、反射镜、透反镜、位敏探测器、偏振分束器、线偏振光源、用于驱动上述镜子的PZT微位移驱动器、数据采集和处理及控制单元、偏振相移干涉光电探测单元或双频外差干涉光电探测单元。本发明采用基于衍射光点位置反馈控制角锥棱镜或反射镜的自适应方法，来保证动态光栅干涉仪的完全共光路特性，从而消除光栅尺体相对运动误差的光路影响，进而获得高精度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 自适应 共光路 光栅 干涉仪 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种自适应共光路光栅干涉仪，包括：相对运动的光栅尺(1)、角锥棱镜(2)、反射镜(3)、透反镜(4)、位敏探测器(6)、第一偏振分束器(7)、线偏振光源(8)、用于驱动所述的角锥棱镜(2)或反射镜(3)或透反镜(4)的PZT微位移驱动器、数据采集和处理及控制单元、干涉光电探测单元，其特征在于：①线偏振光源(8)所发出偏振光束经第一偏振分束器(7)分为透射的S光和反射的P光，所述的P光经所述的反射镜(3)反射后经相对运动光栅尺(1)衍射后的±m级衍射光入射角锥棱镜(2)，其中m>＝1，所述的S光经所述的透反镜(4)反射后经相对运动光栅尺(1)衍射后的±m(m>＝1)级衍射光入射角锥棱镜(2)，所述的P光、S光经角锥棱镜(2)反射输出分别进入对方光路，并产生分别为±2m倍多普勒频移，最终两束光路产生4m倍多普勒频移差，并在所述的第一偏振分束器(7)处同方向正交偏振态出射，形成完全共光路，该完全共光路入射所述的干涉光电探测单元，该干涉光电探测单元的输出端接所述的数据采集和处理及控制单元的输入端，②所述的位敏探测器(6)在所述的透反镜(4)的反向透射光方向设置，探测光栅尺衍射光线的光点变化，该位敏探测器(6)的输出端接所述的数据采集和处理及控制单元的输入端，所述的数据采集和处理及控制单元的输出端接所述的PZT微位移驱动器的控制端，PZT微位移驱动器驱动反射镜或角锥棱镜以改变入射和出射光线的方位。
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