[发明专利]天线效应放电回路及其制造方法

摘要

本发明公开了一种天线效应放电回路及其制造方法，该天线效应放电电路，具有图案化导体层，其可暴露在工艺中的电荷感应环境。天线效应放电电路具有一端及一栅极，该端连接装置上的一节点，节点受保护以避免电荷累积，栅极例如是电路中场效应晶体管的栅极，累积的电荷可经由该端放电到基板上。一电容耦接在天线效应放电电路的栅极至基板。一电压供应电路，用以提供电压，在装置的操作期间，此电压足够于关闭状态偏置天线效应放电电路。上层的一图案化导体(较佳为最上层)连接天线效应放电电路的栅极与电压供应电路。

主权项

1.一种集成电路装置，包括：一基板；多个图案化导体层及层间连接器，位于该基板上，这些层包括一上层及一个或多个下层；一天线效应放电电路，位于基板上且具有一栅极；一电容，具有一第一端及一第二端，该第一端位于该基板内或连接于该基板，该第二端连接到该栅极；一电压供应电路，配置成能提供一电压，该电压足够在运作时的一关闭状态偏置该天线效应放电电路；以及该上层内的一图案化导体连接该栅极及该电压供应电路；其中该上层内的图案化导体透过一第一导体连接于位于该基板上的一通道阱，且透过一第二导体连接于该栅极与该第二端。