[发明专利]一种制备氮化铝纳米管阵列的方法无效
申请号: | 201410258247.3 | 申请日: | 2014-06-12 |
公开(公告)号: | CN104016315A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 吴志国;季旭;胡海蓉;张伟博;闫鹏勋 | 申请(专利权)人: | 兰州大学 |
主分类号: | C01B21/072 | 分类号: | C01B21/072;B82Y40/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 陆菊华 |
地址: | 730000 甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明公开一种制备氮化铝纳米管阵列的方法,该方法包括如下步骤,(1)抽真空;(2)氨气以及氯化铝于150~200℃蒸发产生的蒸气在载气的作用下混合流过温度为750~850℃的生长衬底表面,混合流过40-60min后,即在生长衬底上得到氮化铝纳米管阵列。与现有气相沉积法生长氮化铝纳米管相比,本发明所述方法的生长温度更低,且无需使用催化剂,在常用的生长衬底均可生长得到氮化铝纳米管阵列。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 氮化 纳米 阵列 方法 | ||
【主权项】:
一种制备氮化铝纳米管阵列的方法,包括如下步骤,(1)抽真空; (2)氨气以及氯化铝于150~200℃蒸发产生的蒸气在载气的作用下混合流过温度为750~850℃的生长衬底表面,混合流过40‑60min后,即在生长衬底上得到氮化铝纳米管阵列。
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