[发明专利]一种具有高硬度和低摩擦系数的NbN/WS2多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410253261.4 | 申请日： | 2014-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104029435A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李伟;汪鸿涛;李明辉 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学;比尔安达（上海）润滑材料有限公司;平湖比尔安达新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;马文峰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有高硬度和低摩擦系数的NbN/WS2多层涂层及制备方法。所述NbN/WS2多层涂层，即在基体上通过多靶磁控溅射方式交替溅射沉积形成NbN纳米层和WS2纳米层，靠近基体为NbN纳米层，最上层为WS2纳米层。NbN/WS2涂层总厚度2.0-6.0μm，其中每一NbN纳米层厚度4.0～6.0nm，每一WS2纳米层厚度0.5～1.3nm。其制备方法即将清洗后的基体置入多靶磁控溅射仪中，在氩、氮混合气氛中交替停留在Nb合金靶和WS2靶之前，通过调整Nb靶和WS2靶的功率和沉积时间以控制每一纳米涂层厚度，即得NbN/WS2纳米多层涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 硬度 摩擦系数 nbn ws sub 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有高硬度和低摩擦系数的NbN/WS2多层涂层，其特征在于所述的具有高硬度和低摩擦系数的NbN/WS2，即在基体上通过多靶磁控溅射的方式交替溅射沉积形成NbN纳米层和WS2纳米层，靠近基体的一层为NbN纳米层，最上层为WS2纳米层；所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。
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