[发明专利]晶圆固定装置

摘要

本发明揭示了一种晶圆固定装置，包括：夹具、联轴器和密封圈。夹具包括一盘状部分和一杆状部分，杆状部分中空形成腔体，盘状部分上开有真空气孔，真空气孔与杆状部分的腔体连通，盘状部分上开有环形槽，盘状部分的外周形成有台阶面，台阶面低于盘状部分的端面。联轴器安装在腔体中，联轴器的外壁与腔体的内壁密封配合，联轴器中形成有贯通孔，真空气孔、腔体和贯通孔连通形成真空气槽。密封圈安装在环形槽中，密封圈为耐腐蚀弹性材料制作。本发明的晶圆固定装置在吸附晶圆时，晶圆先不与盘状部分的端面接触，而是先与密封圈接触，提高了晶圆固定装置的气密性，使得晶圆能够被牢固地吸附在晶圆固定装置上，因此，可以对盘状部分的端面平整度的加工要求减低，以节省成本。

主权项

一种晶圆固定装置，其特征在于，包括：夹具，所述夹具包括一盘状部分和一杆状部分，所述杆状部分中空形成腔体，所述盘状部分上开有真空气孔，所述真空气孔与杆状部分的腔体连通，所述盘状部分上开有环形槽，所述盘状部分的外周形成有台阶面，所述台阶面低于盘状部分的端面；联轴器，所述联轴器安装在所述腔体中，联轴器的外壁与腔体的内壁密封配合，联轴器中形成有贯通孔，所述真空气孔、腔体和贯通孔连通形成真空气槽；密封圈，所述密封圈安装在所述环形槽中，密封圈为耐腐蚀弹性材料制作。