[发明专利]光学位移传感器

摘要

本发明提供了一种光学位移传感器，属于机械技术领域。它解决了现有的位移传感器测量误差高且不方便校正的问题。本光学位移传感器，所述位移探测器的数量为两个：探测器一和探测器二，所述物镜一、分光棱镜一、分光棱镜二、成像镜一和探测器一在壳体内由右至左设置，所述激光器位于分光棱镜一上部且在两者之间具有固连在壳体内的偏振片，所述壳体内还具有参考面，上述的物镜二固连在壳体内且物镜二位于参考面与分光棱镜一之间，所述分光棱镜一与物镜一之间以及分光棱镜一与物镜二之间均具有四分之一波片,所述探测器二位于分光棱镜二上部，上述成像镜二位于探测器二与分光棱镜二之间。本光学位移传感器测量误差小且误差便于校正。

主权项

一种光学位移传感器，包括壳体(1)、激光器(2)、分光棱镜、物镜、成像镜和位移探测器，其特征在于，所述物镜的数量为两个：物镜一(5)和物镜二(6)，所述分光棱镜的数量为两个：分光棱镜一(3)和分光棱镜二(4)，所述成像镜的数量为两个：成像镜一(7)和成像镜二(8)，所述位移探测器的数量为两个：探测器一(9)和探测器二(10)，所述物镜一(5)、分光棱镜一(3)、分光棱镜二(4)、成像镜一(7)和探测器一(9)在壳体(1)内由右至左设置，所述激光器(2)位于分光棱镜一(3)上部且在两者之间具有固连在壳体(1)内的偏振片(20)，所述壳体(1)内还具有参考面(12)，上述的物镜二(6)固连在壳体(1)内且物镜二(6)位于参考面(12)与分光棱镜一(3)之间，所述分光棱镜一(3)与物镜一(5)之间以及分光棱镜一(3)与物镜二(6)之间均具有四分之一波片(13),所述探测器二(10)位于分光棱镜二(4)上部，上述成像镜二(8)位于探测器二(10)与分光棱镜二(4)之间。