[发明专利]激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法有效

专利信息
申请号: 201410231251.0 申请日: 2014-05-28
公开(公告)号: CN104347823B 公开(公告)日: 2018-01-12
发明(设计)人: 李廷敏;亚历山大·奥洛温斯基;埃尔马·格伦;海德龙·金德;阿诺德·吉勒 申请(专利权)人: 三星显示有限公司;弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L27/32;B23K26/064
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 代理人: 余朦,刘铮
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在此提供了一种激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法。激光束照射装置,包括激光源,配置成发射光;准直器,配置成校准所发射的光;扫描仪,配置成调整校准后的光以改变其照射方向;第一透镜部,配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束;相机,配置成接收穿过所述扫描仪的可视光;热感应部,配置成接收穿过所述扫描仪的红外光;以及控制部,配置成控制所述激光束的移动方向和强度。
搜索关键词: 激光束 照射 装置 制造 有机 发光 显示装置 方法
【主权项】:
一种激光束照射装置,包括:激光源,配置成发射光;准直器,配置成校准所发射的光;扫描仪,配置成调整校准后的光以改变其照射方向;第一透镜部,配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束;相机,配置成接收穿过所述扫描仪的可视光;热感应部,配置成接收穿过所述扫描仪的红外光;以及控制部,配置成控制所述激光束的移动方向和强度,其中所述控制部进一步配置成使所述激光束在执行旋转运动时沿着第一方向移动,其中所述旋转运动的路径包括多个分段,以及其中所述控制部包括激光驱动器,所述激光驱动器配置成在每个所述分段中改变激光束的强度。
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