[发明专利]数字光学位相反转器的调校装置和方法

摘要

本发明公开了一种数字光学位相反转器的调校装置，包括：用于提供短相干长度准直光的光源模块；用于放置数字光学位相反转器的载物台；用于成像干涉条纹的数字相机；用于对所述数字相机调节位置的反射成像光路模块；用于在所述数字相机和反射成像光路模块之间切换光路的反射镜；其中，整个光路以载物台为中心点呈L型直角分布。本发明还公开了一种数字光学位相反转器的调校方法，由于是等大成像，只需要一次定位即可以保证光学位相反转器数字相机和空间光调制器的相对横向位置重合和像素的一一对应，并逐渐增加棋盘图案内格子数量，使边界逐渐密集，反复调校，增加横向定位精度，为保证数字光学位相反转器的最终性能。

主权项

一种数字光学位相反转器的调校装置，其特征在于，包括：用于提供短相干长度准直光的光源模块；用于放置数字光学位相反转器的载物台；用于成像干涉条纹的数字相机；用于进行横向调节的反射成像光路模块；用于在所述数字相机和反射成像光路模块之间切换光路的反射镜；其中，整个光路以载物台为中心点呈L型直角分布，所述光源模块位于光路的一臂上，所述的反射镜、数字相机和反射成像光路模块位于另一臂上；所述的光学位相反转器包括：用于对入射光进行分光的分束棱镜、光学位相反转器数字相机、空间光调制器、用于负责调整所述光学位相反转器数字相机的空间位置和倾角的第一调整装置以及用于负责调整所述空间光调制器的空间位置和倾角的第二调整装置。