[发明专利]视觉检测系统及视觉检测方法在审
| 申请号： | 201410222291.9 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN105091790A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡振扬;周明澔;廖惇材;黄柏纶 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种视觉检测系统及视觉检测方法，该检测系统包含承载平台、摄影模组及电脑模组。承载平台承载包含多个晶粒的晶圆。摄影模组包含第一摄影单元及第二摄影单元。第一摄影单元用以拍摄晶圆而获得实际晶圆影像。第二摄影单元用以拍摄晶粒中的一个而获得实际晶粒影像。电脑模组用以将实际晶圆影像与标准晶圆影像进行比对而获得第一角度差值，进而根据第一角度差值驱动承载平台转动，并将实际晶粒影像与标准晶粒影像进行比对而获得第二角度差值，进而根据第二角度差值驱动承载平台转动。本发明能够快速调整晶粒方位，减少检测处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 视觉 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种视觉检测系统，用以检测一晶圆，其特征在于，该晶圆包含多个晶粒，该视觉检测系统包含：一承载平台，用以承载该晶圆；一摄影模组，包含：一第一摄影单元，用以拍摄该晶圆而获得一实际晶圆影像；以及一第二摄影单元，用以拍摄各所述晶粒中的一个而获得一实际晶粒影像；一光源模组，与该第一摄影单元分别位于该承载平台的相对两侧；以及一电脑模组，用以将该实际晶圆影像与一标准晶圆影像进行比对而获得一第一角度差值，进而根据该第一角度差值驱动该承载平台转动，并将该实际晶粒影像与一标准晶粒影像进行比对而获得一第二角度差值，进而根据该第二角度差值驱动该承载平台转动。
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