[发明专利]LED芯片的电极去除液及去除方法在审
| 申请号： | 201410221543.6 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN103966604A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 徐平;王远红;谈健;陈艳恒 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/16 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;郑隽 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了LED芯片的电极去除液及去除方法，包括涂覆负性光阻、光刻、浸泡电极、蒸镀电极、剥离电极步骤，其中浸泡电极步骤为：将装有芯片的卡塞放入电极去除液中浸泡20-30分钟，溶液的温度在40℃～50℃；电极去除液包含氯化铁和盐酸，其中氯化铁的质量分数为35-40％，盐酸的质量分数为10-15％，其余为水。本电极去除方法能有效地保护好SiO2膜层和TCL膜层，不破坏P型GaN层，保障了产品的品质，并节约材料成本和提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | led 芯片 电极 去除 方法 | ||
【主权项】：
一种LED芯片的电极去除液，其特征在于，包括氯化铁和盐酸，其中氯化铁的质量分数为35‑40％，盐酸的质量分数为10‑15％，其余为水。
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