[发明专利]基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台有效

专利信息
申请号: 201410214605.0 申请日: 2014-05-20
公开(公告)号: CN103963033A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 杨志军;白有盾;陈新;高健;杨海东;王梦;汤晖 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: B25H1/00 分类号: B25H1/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆;邓猛烈
地址: 510006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及用精密一维运动场合,可用于通用一维运动平台的精密位移补偿。本发明具体涉及基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台,包括运动子平台及对应驱动器、微动工作平台,利用通过频率调节机构调节张紧力的薄膜组作为柔性铰链,实现一维微动平台的振动频率的手动或动态调整。本发明采用上述结构,基于预应力膜,频率可调,能根据不同的工况和驱动频率,可在工作前或工作过程中调节微动平台的固有频率。
搜索关键词: 基于 应力 原理 刚度 频率 可调 微动 平台
【主权项】:
基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台,其特征在于:包括机架(1)、薄膜组(201)、运动子平台(202)、外框架(203)、驱动器、工作平台(4)和频率调节机构(7);所述运动子平台(202)的两侧通过所述薄膜组(201)与所述外框架(203)内壁连接,所述薄膜组(201)内的薄膜为平行布置,且所述薄膜的长度方向垂直于所述运动子平台(202)的运动方向;所述外框架(203)刚性固定于所述机架(1),所述工作平台(4)刚性固定于所述运动子平台(202);所述驱动器包括有定子(301)和动子(302),所述的定子(301)固定于所述机架(1)或者所述外框架(203),所述动子(302)固定在所述运动子平台(202)上;所述外框架(203)与所述薄膜组(201)连接处设有槽(2),使所述外框架(203)内侧形成较薄的可变形的弹性件(5),所述外框架(203)设有调节所述弹性件(5)变形度的所述频率调节机构(7)。
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