[发明专利]线性调频多光束激光外差二次谐波法测量电致伸缩系数的装置及方法

摘要

线性调频多光束激光外差二次谐波法测量电致伸缩系数的装置及方法，属于光学测量技术领域。本发明为了解决压电陶瓷管在内外表面施加电压时产生的轴向长度变化量很微小，常规测量方法的测量结果精度低的问题。装置包括待测压电陶瓷管、线性调频激光器、第一平面反射镜、薄玻璃板、第二平面反射镜、二维调整架、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统；方法为使光电探测器开始接收光束信号，数字信号处理器连续采集光电探测器输出的电信号，并进行处理，根据频率与距离之间的关系获得薄玻璃板与第二平面反射镜之间的当前距离，再根据电致伸缩系数的公式，获得待测压电陶瓷管的电致伸缩系数。本发明用于测量电致伸缩系数。

主权项

一种线性调频多光束激光外差二次谐波法测量电致伸缩系数的装置，它包括待测压电陶瓷管(1)，其特征在于，它还包括线性调频激光器(2)、第一平面反射镜(3)、薄玻璃板(4)、第二平面反射镜(5)、二维调整架(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)，第二平面反射镜(5)与待测压电陶瓷管(1)的一端粘接固定，待测压电陶瓷管(1)的另一端固定在二维调整架(6)上，待测压电陶瓷管(1)的另一端具有电源连接线，二维调整架(6)的位置为固定；线性调频激光器(2)发射的线偏振光经过第一平面反射镜(3)反射后，斜入射到薄玻璃板(4)上，经薄玻璃板(4)透射的光被第二平面反射镜(5)反射后与经过薄玻璃板(4)前表面反射的光共同被会聚透镜(7)汇聚到光电探测器(8)的光敏面上，光电探测器(8)输出的电信号传送给信号处理系统(9)。