[发明专利]一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈在审

专利信息
申请号: 201410201565.6 申请日: 2014-05-06
公开(公告)号: CN103993349A 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 刘朝轩 申请(专利权)人: 洛阳金诺机械工程有限公司
主分类号: C30B13/20 分类号: C30B13/20;C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈,涉及高频线圈技术领域,本发明通过在高频线圈(2)的中部设置拉制孔(5),在所述拉制孔向外呈放射状设置导流槽(4),可以迫使电流往高频线圈拉制孔以外的地方分流,进而克服电流走近路造成线圈中部温度高外围温度的低的弊端,进一步,本发明还通过在导流槽与开口之间设置分流槽(10),在提高分流电流的同时,还可以迫使电流朝拉制孔处流动,进而保证拉制孔的温度不会过低等,本发明大大提高了能量利用率,降低生产成本、大量节约能源等优点,易于在区熔法生产单晶硅行业推广实施。
搜索关键词: 一种 使用 法拉 制单 晶硅棒 高频 线圈
【主权项】:
一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈,包括高频线圈(2)和连接座(8),其特征是:在高频线圈(2)的上部面中部设有向下的环形台阶(3),在高频线圈(2)的下部面中部设有向上凹陷面(11),在高频线圈(2)的外部环绕设置冷却介质通路(12),所述冷却介质通路(12)的两端分别连接连接座(8),在两连接座(8)之间的高频线圈(2)上设有自高频线圈(2)外缘贯通至拉制孔(5)的开口(6),所述拉制孔(5)设置在高频线圈(2)的中部,在拉制孔(5)向外呈放射状设有至少两个导流槽(4),在所述导流槽(4)与导流槽(4)之间的高频线圈(2)上设有分流槽(10)形成所述的使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈。
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