[发明专利]用于检测微量水蒸气浓度的光声光谱检测装置

摘要

本发明公开了一种用于检测微量水蒸气浓度的光声光谱检测装置，包括：红外光源、斩波器、滤光片、斩波器控制单元、红外光源控制单元、谐振式光声池、供电电源、加热器、多个驻极体电容式微音器、中央处理单元、显示屏和模数信号转换器；所述驻极体电容式微音器沿着谐波式光声池的轴向均布，且所述驻极体电容式微音器在谐波式光声池的外壁上周向均布；所述驻极体电容式微音器与模数信号转换器连接。本发明提供的用于检测微量水蒸气浓度的光声光谱检测装置，能检测到PPM级微量水蒸气浓度并且无需依赖任何化学物质、无需进行重复校准、可有效地避免其它干扰气体以及水蒸气冷凝而影响检测精度、具有优异的灵敏度、检测精度和稳定性。

主权项

用于检测微量水蒸气浓度的光声光谱检测装置，其特征在于，包括：红外光源、斩波器、滤光片、斩波器控制单元、红外光源控制单元、谐振式光声池、供电电源、加热器、多个驻极体电容式微音器、中央处理单元、显示屏和模数信号转换器；所述谐振式光声池的进气管和出气管分别与气路控制阀门和气泵连接；所述红外光源、斩波器以及光学滤光片组成光路；所述红外光源与红外光源控制单元由电气控制连接；所述斩波器与斩波器控制单元由电气控制连接；所述中央处理单元与斩波器控制单元、红外光源控制单元、模数信号转换器电气控制连接；所述加热器、显示屏与中央处理单元电气控制连接；所述显示屏与模数信号转换器电气连接；所述斩波器由斩波器控制单元控制运动，将红外光源切光后发射至所述滤光片，并由滤光片过滤光源后发射至谐振式光声池的入光口；所述红外光的功率为8w的中红外光；所述滤光片为中红外光谱薄膜过滤滤光片；所述中红外光谱薄膜过滤滤光片为通过薄膜过滤方法使波长为2.5‑3μm范围的光谱通过的薄膜过滤滤光片；所述驻极体电容式驻极体电容式微音器的电容量为10PF、信噪比为56dB和灵敏度为‑42dB；所述谐振式光声池与驻极体电容式微音器连接；所述多个驻极体电容式微音器固定在谐波式光声池的外壁上，所述驻极体电容式微音器沿着谐波式光声池的轴向均布，且所述驻极体电容式微音器在谐波式光声池的外壁上周向均布；所述驻极体电容式微音器与模数信号转换器连接。