[发明专利]基于可编程照明的干涉显微镜系统有效
| 申请号： | 201410199476.2 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103983206A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 万新军;朱伟超;杨波 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/023 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人： | 陈伟勇 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉显微镜。基于可编程照明的干涉显微镜系统，包括一照明光源、一照明模块；还包括一数字微镜装置，数字微镜装置包含有数字微镜阵列，每个数字微镜设有n°和-n°两个偏转角状态。光线通过TIR棱镜的折反射以2n°入射角度入射到数字微镜装置，接着控制各微反射镜的“开”或者“关”的状态，使光线得到相应的空间调制，然后从数字微镜装置垂直出射；之后通过分光棱镜的反射使光路进入Mirau干涉物镜，在Mirau干涉物镜中经过分束器形成两束光，这两束光分别照射到参考平面和被测平面后反射回来，并且在分束器形成光学干涉；然后被测物的干涉光场从干涉物镜中返回；之后再次通过分光棱镜，经过筒镜后被探测器接收，得到干涉显微镜的干涉图像。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 可编程 照明 干涉显微镜 系统 | ||
【主权项】：
基于可编程照明的干涉显微镜系统，包括一照明光源、一照明模块，所述照明光源通过所述照明模块得到准直均匀的光线；其特征在于，还包括一数字微镜装置作为照明光调制器，所述数字微镜装置包含有数字微镜阵列，所述每个数字微镜设有n°和‑n°两个偏转角状态； 所得到的准直均匀的光线通过TIR棱镜的折反射将以2n°入射到数字微镜装置，接着控制各所述微反射镜的“开”或者“关”的状态，使光线得到相应的空间调制，然后从数字微镜装置垂直出射； 之后通过分光棱镜的反射使光路进入Mirau干涉物镜，在Mirau干涉物镜中经过分束器形成两束光，这两束光分别照射到参考平面和被测平面后反射回来，并且在分束器形成光学干涉；然后被测物的干涉光场从干涉物镜中返回；之后再次通过分光棱镜，经过筒镜后被探测器接收，得到干涉显微镜的干涉图像。
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