[发明专利]一种宽量程精密真空漏气阀

摘要

一种宽量程精密真空漏气阀，属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门。本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。本发明包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，在上阀体的侧壁上设置有调节螺栓，上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰。

主权项

一种宽量程精密真空漏气阀，其特征在于包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，阀芯的顶部穿过第一通孔设置在第一凹槽与阀盖形成的腔体内，在阀芯壳体的顶部设置有螺母，在螺母与第一凹槽的底面之间的阀芯外设置有压缩弹簧，在上阀体上部的侧壁上设置有调节螺栓，在调节螺栓的两端面上均设置有倒锥形凹槽，且两端的倒锥形凹槽的底部相连通；上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，调节手柄的内端穿过调节螺栓的倒锥形凹槽后，通过连接螺栓与阀芯的顶端相连接，调节手柄的外端与调节杆相连接；在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，第二凹槽与第三凹槽之间通过第二通孔相连通，第二通孔与阀芯底部相对应，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰，第二法兰的内部通过设置在下阀体的侧壁上的第三通孔与第二凹槽相连通。