[发明专利]一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法

摘要

本发明提供了一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法，涉及集成电路测试、制造领域。本发明方法包括如下步骤：1）得到晶圆空跑出来标准的UF200原始图像数据调用MAP图文件。2）打开MAP图文件，将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，输出到ASCII编码的《UF200.txt》模板。3）打开需要打点的MAP图文件统一格式，转换为标准的ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件。4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF200.txt》模板的位置信息，将其还原，输出到“ink_MAP.txt”文件。5）打开“ink_MAP.txt”文件，将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF200_ink_MAP.dat”。本发明提高了设备能力和生产效率。

主权项

1.一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法，其包括如下步骤：1）得到晶圆（WAFER）在UF系列探针台的测试机上空跑出来标准的UF原始图像数据调用MAP图文件；2）采用十六进制模式打开MAP图文件，按照UF探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，根据坐标位置，输出到ASCII编码的《UF.txt》模板 ；3）采用文本方式打开需要打点的MAP图统一格式文件，转换为标准ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件；4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF.txt》模板的位置信息，将其还原到UF探针台坐标系上位置，输出到“ink_MAP.txt”文件；5）打开“ink_MAP.txt”文件，按照UF探针台设定的数据格式和长度将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF_ink_ MAP.dat”。