[发明专利]一种生长石墨烯薄膜的装置及其生长方法在审
| 申请号： | 201410196056.9 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN105088335A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 奚明;胡兵;吴红星;吴堃;于广辉;张燕辉;陈志蓥;徐伟;张浩然 | 申请（专利权）人： | 理想能源设备（上海）有限公司;上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/64;C30B29/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在柔性衬底上生长石墨烯薄膜的装置，该装置包括：内腔，该内腔分为预处理仓、上反应仓和中反应仓，所述预处理仓、上反应仓和中反应仓分设有进气口和出气口且依次排列；金属衬底，一般为铜膜或铜镍合金膜，延伸于内腔，金属衬底两侧的细缝连通预处理仓、上反应仓和中反应仓；加热器，位于立式内腔外侧，用于加热金属衬底；反射板，位于加热器外周侧，用于将热量向立式内腔方向反射。进一步地，所述内腔和外腔均为立式结构，并且金属衬底垂直延伸于内腔中，并可由预处理仓向上反应仓、中反应仓的方向匀速移动。利用本发明的装置和方法能够量产出高品质、大尺寸的石墨烯薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 石墨 薄膜 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种在柔性金属衬底上生长石墨烯薄膜的装置，其特征在于，包括：内腔，该内腔分为预处理仓、上反应仓和中反应仓，所述预处理仓、上反应仓和中反应仓分设有进气口和出气口且依次排列；金属衬底，延伸于内腔，金属衬底两侧的细缝连通预处理仓、上反应仓和中反应仓；外腔，所述外腔与所述内腔间形成缓冲空间；加热器，位于所述缓冲空间，用于加热金属衬底及气体环境；反射板，位于所述加热器外周侧，用于将热量向内腔方向反射。
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