[发明专利]可伸缩分裂栅存储器单元阵列

摘要

本发明涉及可伸缩分裂栅存储器单元阵列。分裂栅存储器阵列包括具有存储器单元(与12、14、18、20交叉的24、32、42)的第一行(24)；具有存储器单元(与12、14、18、20交叉的26、34、44)的第二行(26)，其中所述第二行与所述第一行相邻；以及多个段。每个段(32、34、36；40、42、44)包括：所述第一行的第一多个存储器单元(与12、14交叉)；所述第二行的第二多个存储器单元；形成了所述第一多个存储器单元的每个存储器单元的控制栅的第一控制栅部分(32)；以及形成了所述第二多个存储器单元的每个存储器单元的控制栅的第二控制栅部分(34)。所述第一控制栅部分和所述第二控制栅部分会聚(36)到在所述多个段的相邻段之间的单一控制栅部分(38)。

主权项

1.一种具有多个行的分裂栅存储器阵列，包括：分裂栅存储器单元的第一段，包括：沿着所述第一段的第一行的第一多个分裂栅存储器单元；沿着所述第一段的第二行的第二多个分裂栅存储器单元，其中所述第二行与所述第一行相邻；第一控制栅导体，所述第一控制栅导体形成了所述第一多个分裂栅存储器单元中的每个的控制栅；第二控制栅导体，所述第二控制栅导体形成了所述第二多个分裂栅存储器单元中的每个的控制栅；以及行带导体，所述行带导体被物理地连接在所述第一控制栅导体和所述第二控制栅导体之间；分裂栅存储器单元的第二段，包括：沿着所述第二段的第一行的第一多个分裂栅存储器单元；沿着所述第二段的第二行的第二多个分裂栅存储器单元，其中所述第二段的所述第二行与所述第二段的所述第一行相邻；第一控制栅导体，所述第一控制栅导体形成了所述第二段的所述第一多个分裂栅存储器单元中的每个的控制栅；第二控制栅导体，所述第二控制栅导体形成了所述第二段的所述第二多个分裂栅存储器单元中的每个的控制栅；以及行带导体，所述行带导体被物理地连接在所述第一控制栅导体和所述第二控制栅导体之间；段带导体，所述段带导体被物理地连接在所述第一段的所述行带导体和所述第二段的所述行带导体之间；以及第一选择栅导体，所述第一选择栅导体形成了所述第一段的所述第一多个分裂栅存储器单元中的每个的选择栅和所述第二段的所述第一多个分裂栅存储器单元中的每个的选择栅；以及第二选择栅导体，所述第二选择栅导体形成了所述第一段的所述第二多个分裂栅存储器单元中的每个的选择栅和所述第二段的所述第二多个分裂栅存储器单元中的每个的选择栅；其中所述段带导体位于所述第一选择栅导体和所述第二选择栅导体之间。