[发明专利]太阳能电池单元的制造方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池单元的制造方法，其为利用了离子注入法的新的太阳能电池单元的制造方法。本发明的一方式的太阳能电池单元的制造方法包括：准备工序，准备具有第1导电型的硅层和覆盖硅层的包覆膜的太阳能电池用基板；及发射极层形成工序，经由包覆膜朝向硅层照射第2导电型的离子，在硅层的受光面侧的一部分的区域形成发射极层。发射极层形成工序中，以离子的射程成为从包覆膜的表面到包覆膜与硅层的界面的距离的能量照射该离子。

主权项

一种太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，包括：准备工序，准备具有第1导电型的硅层和覆盖所述硅层的包覆膜的太阳能电池用基板；及发射极层形成工序，经由所述包覆膜朝向所述硅层照射第2导电型的离子，在所述硅层的受光面侧的一部分的区域形成发射极层，所述发射极层形成工序中，以所述离子的射程成为从所述包覆膜的表面到所述包覆膜与所述硅层的界面为止的距离的能量照射该离子。