[发明专利]一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法有效

专利信息
申请号: 201410152676.2 申请日: 2014-04-16
公开(公告)号: CN103894720A 公开(公告)日: 2014-07-02
发明(设计)人: 邵玲;王广欣;赵学义 申请(专利权)人: 昆山海普电子材料有限公司
主分类号: B23K20/00 分类号: B23K20/00;B23K20/24
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫;汪青
地址: 215311 江苏省苏州市昆山*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法,包括依次进行的如下步骤:将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工;将机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗;将清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50~160MPa、温度为300~400℃、热压行程为8~12mm的条件下进行扩散焊3~5小时,然后进行冷却、卸压;将处理后的工件进行机械加工,得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件。本发明采用热压炉扩散焊接,使得造价降低;此外,高纯钴靶材坯料与6061铝合金背板之间的结合率可以达到99%以上,且结合强度高,结合后弯曲变形小,对靶材组件的总体性能没有明显影响。
搜索关键词: 一种 高纯 钴靶材 坯料 背板 焊接 方法
【主权项】:
 一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法,其特征在于:包括依次进行的如下步骤:(1)、将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工,其中,所述的背板的材质为6061铝合金,所述的高纯钴靶材坯料的面积小于所述的背板的面积;(2)、将步骤(1)机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗;(3)、将步骤(2)清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50~160 MPa、温度为300~400℃、热压行程为8~12mm的条件下进行扩散焊3~5小时,然后进行冷却、卸压;(4)、将步骤(3)处理后的工件进行机械加工,得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件。
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