[发明专利]波像差测量装置的误差校准方法

摘要

本发明提供了一种波像差测量装置的误差校准方法，包括以下步骤步骤一通过掩模台的掩模板上的物面测量标记和工件台的基准板上的若干个像面测量标记的相对运动进行波像差测量，然后通过测量的结果计算所述基准板的倾斜情况；步骤二通过测量的结果计算所述基准板的旋转角度；步骤三根据所述基准板的倾斜情况和旋转角度对所述基准板进行调整补偿。本发明摒弃了使用掩模对准、硅片对准和FLS来进行物面和像面波像差标记对准的方法，而是使用波像差测量结果计算波像差标记的对准精度，并进行调整；通过测量物面和像面运动台运动方向和标记方向之间是否存在夹角，并进行调整。

主权项

一种波像差测量装置的误差校准方法，包括以下步骤：步骤一：通过掩模台的掩模板上的物面测量标记和工件台的基准板上的若干个像面测量标记的相对运动进行波像差测量，然后通过测量的结果计算所述基准板的倾斜情况，波像差测量标记包括所述像面测量标记和所述物面测量标记；步骤二：通过测量的结果计算所述基准板的旋转角度；步骤三：根据所述基准板的倾斜情况和旋转角度对所述基准板进行调整补偿；步骤四：通过一个物面测量标记和一个像面测量标记的相对运动获取位相图，然后通过位相图计算掩模台的运动方向与像面测量标记的夹角或者工件台的运动方向与物面测量标记的夹角；步骤五：根据所述夹角对掩模台位置或工件台位置进行调整补偿；在所述步骤一中包括如下步骤：S101：将掩模板上的物面测量标记移动至物镜的视场中心点，将基准板上的像面测量标记的区域中心移动到与物面测量标记对应的名义位置；S102：选择基准板上的若干所述像面测量标记，将所述物面测量标记分别与每个像面测量标记发生相对运动，传感器进行图像采集和波像差测量，得到这若干个像面测量标记对应的泽尔尼克像差系数；S103：根据所述泽尔尼克像差系数计算若干所述像面测量标记对应的离焦位置，再通过所述离焦位置计算出所述基准板的倾斜情况Tx、Ty；所述步骤二包括如下步骤：S201：根据所述波像差测量，获得像面测量标记对应的泽尔尼克像差系数，可以计算出所述若干个像面测量标记的实际位置X、Y；S202：根据上述实际位置计算所述基准板的旋转角度Rz；所述步骤四包括如下步骤：S401：使一个所述物面测量标记与一个所述像面测量标记之间发生相对运动，传感器采集位相图，即位相随标记的运动距离变化而变化的曲线图；S402：根据该位相图计算位相差，再通过所述位相差计算出掩模台的运动方向与像面测量标记方向的夹角，或工件台的运动方向与物面测量标记方向的夹角。