[发明专利]一种抛光片载片盒的清洗工艺

摘要

本发明涉及一种抛光片载片盒的清洗工艺，它包括以下步骤：在清洗槽内放入纯水并加入亲水性有机溶剂，得到清洗液，将载片盒浸没在清洗槽内的清洗液中浸泡后取出；用纯水对取出的载片盒进行冲洗，直至载片盒表面无明显清洗剂泡沫为止；将冲洗好的载片盒放入清洗架，再将装好载片盒的清洗架放入超声波清洗机的清洗槽内进行超声波清洗，超声波清洗完成后取出载片盒；使用无尘布蘸拭酒精对载片盒表面进行擦拭；使用气枪喷出气体对载片盒进行吹喷干燥；最后将干燥后的载片盒运至洁净室或净化工作台待用。采用发明工艺经过清洗后的载片盒可替代高洁净度的载片盒，不仅省去了高洁净度辅料的成本，而且加强了抛光片表面颗粒的控制。

主权项

 一种抛光片载片盒的清洗工艺，其特征是该清洗工艺包括以下步骤： a、在清洗槽内放入25~35℃的纯水并加入亲水性有机溶剂，将纯水与有机溶剂搅拌均匀，得到清洗液，纯水与亲水性有机溶剂的体积比为15~25:1，将载片盒浸没在清洗槽内的清洗液中浸泡15~20min后取出；b、用纯水对取出的载片盒进行冲洗，直至载片盒表面无明显清洗剂泡沫为止；c、将冲洗好的载片盒放入清洗架，并使载片盒的底面与清洗架底部呈垂直状态，再将装好载片盒的清洗架放入超声波清洗机的清洗槽内进行超声波清洗，超声波频率为30~50KHZ，超声波功率为60~120W，超声波清洗温度控制在30~35℃，超声波清洗时间控制在10~15min，超声波清洗完成后取出载片盒；d、使用无尘布蘸拭酒精对载片盒表面进行擦拭；e、使用气枪喷出气体对载片盒进行吹喷干燥，气枪所喷出气体的温度控制在50~110℃，吹喷时间控制在3~5min；f、最后将干燥后的载片盒运至洁净室或净化工作台待用。