[发明专利]运用喷墨打印工艺制备叉指换能器和反射栅的方法

摘要

一种运用喷墨打印工艺制备叉指换能器和反射栅的方法。该方法包括：叉指换能器及反射栅的实验参数设计；压电基片的选择；喷墨打印的墨水选择；工艺步骤等。此方法与传统的微电子工艺相比，具有制造速度快、环境友好、工艺过程简单、成本低以及功能多样化的特点。

主权项

一种运用喷墨打印工艺制备叉指换能器和反射栅的方法，其特征在于该方法具体包括：第1、叉指换能器或反射栅的实验参数设计；第2、压电基片选择：选择压电单晶作为压电材料；第3、导电油墨选择：采用纳米银导电墨水在压电单晶上进行喷墨打印；第4、喷墨打印：应用按需式喷墨打印的方式，将纳米银墨水从微米级的喷嘴中喷出，喷印在压电材料上形成固定图形；第5、去水固化：把滴有导电油墨的压电基片放置到60℃的热台上，进行水分蒸发；待水分充分蒸发后，将压电基片放在马弗炉中进行10分钟的烧结，温度为120℃；第6、成品。