[发明专利]具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行双面加工完成。两层玻璃片与带通孔的硅片通过硅-玻璃阳极键合后形成原子气体腔器件。本发明所述的原子气体腔器件可用于原子钟和磁强计等系统中，激光在双反射镜间进行多次反射，从而增加激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应信号的信噪比增强，有利于提高系统的稳定度。

主权项

具有双反射镜的微型原子气体腔器件，所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，其特征在于：中间层为中部具有通孔的硅片；顶层玻璃和底层玻璃结构相同，均为一侧面具有反射镜的玻璃，且顶层玻璃上的上反射镜和底层玻璃上的下反射镜均位于所述通孔内；所述通孔的横截面为四边形，且通孔的横向宽度W大于硅片的厚度H。