[发明专利]一种掺杂Er3+的CdS纳米带多波段红外探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种掺杂Er3+的CdS纳米带多波段红外探测器的制备方法，将CdS粉末和乙酸铒粉体混合，取出混合粉体转入瓷舟中，在离瓷舟5厘米处摆放喷有厚为20‑30纳米金薄膜硅衬底，封闭管式炉，抽出空气使达到真空，通入氩气，停止抽气，让氩气静止30分钟，再抽真空，这样反复3次；随后以每分钟25℃的升温速率把炉子温度升高到840℃，维持此温度2小时，然后降温到室温，通20sccm氩气，维持管内压强为150Torr；取出衬底，用镊子刮下一部分样品分散到乙醇中，利用掩膜版制备纳米器件，并引出纳米器件的电极导线；分3档接入放大器，装入封装的盒子中，制成三波段红外探测器。本发明制备方法简单，作为探测波长为457.5纳米，620纳米，955纳米的三波段光导型探测器。

主权项

一种掺杂Er3+的CdS纳米带多波段红外探测器的制备方法，其特征在于，该掺杂Er3+的CdS纳米带多波段红外探测器的制备方法的步骤包括：步骤一、将CdS粉末和乙酸铒粉体按质量比为50∶1的比例混合均匀，然后取出5‑10克混合粉体转入瓷舟中，并将瓷舟放入管式炉中心位置处；步骤二、在离瓷舟5厘米处摆放喷有厚为20‑30纳米金薄膜的硅衬底，封闭管式炉，抽出空气使达到真空，并通入氩气，停止抽气，让氩气静止30分钟，再抽真空，反复3次；步骤三、随后以每分钟25℃的升温速率把炉子温度升高到840℃，维持2小时，然后降温到室温，直通20sccm的氩气；步骤四、取出沉积有掺杂Er3+的CdS纳米带的衬底，然后用镊子刮下一部分沉积有掺杂Er3+的CdS纳米带分散到乙醇中供制备器件用；步骤五、利用掩膜版制备纳米器件：选取SiO2/Si作为衬底，将分散纳米带放在SiO2/Si衬底上，并在纳米带表面形成掩膜版，在掩膜版上形成钛/金合金电极沉积，然后移去掩膜版，即制得纳米器件，并引出纳米器件的电极导线；步骤六、将引出导线的器件分3档接入放大器，一并装入封装的盒子中，就制成三波段红外探测器。