[发明专利]等离子发生器混气管路

摘要

一种等离子发生器混气管路，包括上端焊接加工件、中部混气块、底部陶瓷座及进气管路。所述上端焊接加工件由等离子体进气法兰连接管、三通连接件、圆柱管路及管路端头连接件焊接而成。三通连接件的底部设有水路进出口，用于混气管路的冷却。中部设有对称的混气块，内部分别嵌有倒锥形挡块，使混气块的内部形成了倒锥形的环状气道。焊接加工件分别与混气块用螺钉连接。末端两侧的陶瓷座，用于混气管路和腔室间的绝缘。本发明实现了等离子体与工艺气体的隔离，冷却等离子体产生的高温及工艺气体能够平稳流动的功能。通过中部倒锥形挡块的设置，使工艺气体在其周围平稳旋转流入，并被其导流向下进入反应腔室，在晶圆表面形成均匀性良好的介质膜。具有结构合理，实用性强，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

主权项

一种等离子发生器混气管路，包括上端焊接加工件、底部陶瓷座及进气管路，所述上端焊接加工件，它由等离子体进气法兰连接管（2）、三通连接件（3）、圆柱管路A（4）、圆柱管路B（18）及管路端头连接件A（5）、管路端头连接件B（14）焊接而成，三通连接件（3）的底部设有水路进出口A（15）和水路进出口B（16），用于混气管路的冷却，末端为两侧的陶瓷座A（10）及陶瓷座B（22），上述陶瓷座A（10）与混气块A（8）、陶瓷座B（22）与混气块B（13）分别用螺钉连接，并分别通过胶圈（1）密封，其特征在于：中部设有对称的混气块A（8）和混气块B（13），内部分别嵌有倒锥形挡块A（7）与倒锥形挡块B（21），使混气块A（8）和混气块B（13）的内部形成了倒锥形的环状气道，焊接加工件分别与混气块A（8）和混气块B（13）用螺钉连接，二者分别用胶圈A（6）、胶圈B（20）密封，工艺气体进气管路A（11）和工艺气体进气管路B（12）分别与混气块A（8）和混气块B（13）连接，二者分别用胶圈C（9）、胶圈D（19）密封，工艺气体由气体通道（17）处切线方向进入混气块内的环状气道，在倒锥形挡块A(7)和倒锥形挡块B(21)周围旋转向下进入腔室内部。