[发明专利]腔体智能压力控制系统及其压力控制方法有效
| 申请号： | 201410138285.5 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103926945B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 顾海龙;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种腔体智能压力控制系统，包括腔体，为工艺制程腔室；氮气进气管路，通过第一阀门与腔体连接；排气管路，一端与腔体连接，另一端与外界排气阀门连接；压力传感器，设置在排气管路之临近外界排气阀门的一端，并用于检测外界排气阀门之排气压力；智能调节阀，设置在所述排气管路之介于腔体和压力传感器之间的过压管路段处；控制单元，接收来自压力传感器的压力检测信号，并控制智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得腔体的压力为760Torr。本发明通过在排气管路之临近外界排气阀门处设置压力传感器，并在排气管路之过压管路段处设置由控制单元控制的智能调压阀，使得腔体构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制腔体之压力。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 压力 控制系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述腔体智能压力控制系统包括：腔体，所述腔体为工艺制程腔室；氮气进气管路，所述氮气进气管路通过第一阀门与所述腔体连接，并在漏率检查时通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入氮气；排气管路，所述排气管路之一端与所述腔体连接，所述排气管路之另一端与外界排气阀门连接；压力传感器，所述压力传感器设置在所述排气管路之临近所述外界排气阀门的一端，并用于检测所述外界排气阀门之排气压力；智能调压阀，所述智能调压阀设置在所述排气管路之介于所述腔体和所述压力传感器之间的过压管路段处；控制单元，所述控制单元实时接收来自所述压力传感器的压力检测信号，并根据所述压力检测信号控制所述智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得所述腔体的压力为760Torr。
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