[发明专利]一种采用激光辐照氮化镓外延片改善氮化镓电学光学性质的方法

摘要

一种采用激光辐照氮化镓外延片以改善其电学光学性能的方法，属于材料制备领域。本发明先将GaN外延片进行预处理，去除表面的污染附着物及有机残留等，改善表面晶格缺陷，采用248nm准分子激光器对GaN外延片进行辐照，单脉冲能量密度0.15J/cm²-0.6J/cm²，经测试，辐照后样品的光致发光谱发生了显著变化，在455nm（2.72eV）位置的缺陷发光峰强度最高，较辐照前增加明显，最高可较辐照前增加约6倍，这可归因于激光辐照下样品表面原子的互扩散现象以及表面的重结晶作用。并采用磁控溅射的方法在样品表面淀积Ni(30nm)/Au(100nm)金属电极后，再进行如载流子浓度、表面电阻率等测试，结果表明在辐照后其欧姆接触得到了一定的改善。

主权项

一种采用激光辐照氮化镓外延片改善氮化镓电学光学性质的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将氮化镓外延片浸入丙酮溶剂超声清洗后冲洗；浸入酒精溶剂超声清洗后冲洗；浸入去离子水中超声清洗后冲洗，干燥；2）将经步骤1）处理过的GaN外延片样品放在靶台上，调整光路，激光器波长为248nm；3）采用脉冲激光单脉冲能量密度0.15J/cm²‑0.6J/cm²，频率3Hz，脉冲数60‑120辐照样品。