[发明专利]TFT玻璃基板减薄液及其制备方法、TFT玻璃基板减薄工艺无效
| 申请号： | 201410136026.9 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN103922602A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 郑资来;李胜坤 | 申请（专利权）人： | 惠州市清洋实业有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 516032 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TFT玻璃基板减薄液，包括：氢氟酸10%～12%，氟化氢铵4%～6%，硝酸5%～8%，硫酸5%～8%，水余量。将TFT玻璃基板减薄液的各组分混合在一起，既得成品。本发明提供的TFT玻璃基板减薄液可以稳定蚀刻速率，针对硼硅玻璃材质蚀刻效果更佳，能有效控制化学蚀刻过程中玻璃产生的凹点、划伤缺陷的放大，软化玻璃粉解决蚀刻过程中边缘凸起问题，且安全、稳定，有效满足TFT玻璃基板减薄品质要求，满足了客户的需求。 | ||
| 搜索关键词： | tft 玻璃 基板减薄液 及其 制备 方法 基板减薄 工艺 | ||
【主权项】：
一种TFT玻璃基板减薄液，其特征在于，按照质量百分比计，其组分包括：氢氟酸 10%～12%，氟化氢铵 4%～6%，硝酸 5%～8%，硫酸 5%～8%水余量。
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