[发明专利]一种磁场增强型线性大面积离子源有效
| 申请号： | 201410129716.1 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103887133A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李福星;张世宏;莫申波;王启民 | 申请（专利权）人： | 南京迪奥赛真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人： | 王雅辉 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市白下区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁场增强型线性大面积离子源，阴极顶板设置于阴极框体的顶部开口处，环形离子束引出口开设在阴极顶板上，环形阳极固定在绝缘支柱上，环形阳极和绝缘支柱位于阴极框体内，绝缘支柱的底部设置于阴极框体上，环形离子束引出口位于环形阳极之上，环形离子束引出口和环形阳极形状位置相匹配，气体电离室设置于环形阳极上表面和环形离子束引出口之间，条形磁钢设置于环形阳极的环形开口内，所述阴极框体、环形阳极、阴极顶板上分别设有冷水管；阴极框体的底部开设通气管道，所述通气管道设置于环形阳极和条形磁钢之间。合适的气室空间和均匀分布的气孔与的输气通道；对阳极、阴极、磁场同时水冷，确保温度不会太高也防止出现退磁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 增强 线性 大面积 离子源 | ||
【主权项】：
一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，包括阴极顶板（1）、阴极框体（2）、环形阳极（3）、绝缘支柱（4）、条形磁钢（5）、气体电离室（6）和环形离子束引出口（7）；所述阴极顶板（1）设置于阴极框体（2）的顶部开口处，环形离子束引出口（7）开设在阴极顶板（1）上，环形阳极（3）固定在绝缘支柱（4）上，环形阳极（3）和绝缘支柱（4）位于阴极框体（2）内，绝缘支柱（4）的底部设置于阴极框体（2）上，环形离子束引出口（7）位于环形阳极（3）之上，环形离子束引出口（7）和环形阳极（3）形状位置相匹配，气体电离室（6）设置于环形阳极（3）上表面和环形离子束引出口（7）之间，条形磁钢（5）设置于环形阳极（3）的环形开口内，条形磁钢（5）、环形阳极（3）和阴极顶板（1）构成了环形放电槽；所述阴极框体（2）、环形阳极（3）、阴极顶板（1）上分别设有冷水管（8）；阴极框体（2）的底部开设通气管道（9），所述通气管道（9）设置于环形阳极（3）和条形磁钢（5）之间。
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