[发明专利]硅微谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201410129567.9 | 申请日： | 2014-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN103901227A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 董景新;赵淑明;刘云峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅微谐振式加速度计，包括：一玻璃基底；一硅微机械可动结构键合在玻璃基底表面，所述硅微机械可动结构包括一第一质量块、一第二质量块呈镜像对称设置，所述第一质量块及第二质量块分别通过两根支撑梁悬浮于所述玻璃基底表面，并以两根支撑梁为轴转动；一第一振梁的两端分别与第一质量块及第二质量块相连，一第一驱动定梳齿与一第一检测定梳齿相对设置于所述第一振梁两侧；一第二振梁的两端分别与所述第一质量块及第二质量块相连，一第二驱动定梳齿与一第二检测定梳齿相对设置于所述第二振梁两侧，且所述第一振梁及第二振梁在垂直于玻璃基底表面的方向上即Z轴方向上具有不同的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种硅微谐振式加速度计，包括：一玻璃基底；一硅微机械可动结构键合在玻璃基底表面，所述硅微机械可动结构包括一第一质量块、一第二质量块呈镜像对称设置，所述第一质量块及第二质量块分别通过两根支撑梁悬浮于所述玻璃基底表面，并以两根支撑梁为轴转动；一第一振梁及一第二振梁平行设置于所述第一质量块与第二质量块之间，所述第一振梁的两端分别与第一质量块及第二质量块相连，一第一驱动定梳齿与一第一检测定梳齿相对设置于所述第一振梁两侧；所述第二振梁的两端分别与所述第一质量块及第二质量块相连，一第二驱动定梳齿与一第二检测定梳齿相对设置于所述第二振梁两侧，且所述第一振梁及第二振梁在垂直于玻璃基底表面的方向上即Z轴方向上具有不同的高度。
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