[发明专利]一种基于MEMS硅基中红外波段光调制器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS硅基中红外波段光调制器。在SOI材料的顶层硅上分别刻蚀出由弯曲硅波导、电极和条形硅波导组成两组相同的波导结构，两组波导结构分别沿顶层硅中心方向相反且对称布置，每条弯曲硅波导的一端与条形波导连接，每条弯曲硅波导的另一端与电极连接；在二氧化硅衬底上开有一排等距、布置的多个空气槽，两根条形波导位于多个空气槽的上方，相邻凹槽连接处用来支撑两根条形波导。本发明不仅降低整个器件中由于二氧化硅层带来的高吸收损耗，而且可以使用MEMS来控制悬浮波导的弯曲可以改变耦合器的耦合长度，从而控制输出端的信号，避免热光效应；具有结构简单，与CMOS工艺兼容，控制简单的优点。

主权项

一种基于 MEMS硅基中红外波段光调制器，其特征在于：在SOI材料的顶层硅上分别刻蚀出由弯曲硅波导（3）、电极（4）和条形硅波导（1）组成两组相同的波导结构，两组波导结构分别沿顶层硅中心方向相反且对称布置，每条弯曲硅波导（3）的一端与条形波导（1）连接，每条弯曲硅波导（3）的另一端与电极（4）连接；在二氧化硅衬底（5）上开有一排等距、布置的多个空气槽，两根条形波导（1）位于多个空气槽的上方，相邻凹槽连接处用来支撑两根条形波导（1）。