[发明专利]一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201410124054.9 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103941041A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邓佩刚;杨政 | 申请（专利权）人： | 武汉瑞芯科微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计，包括三个框架结构：悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架，所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接。所述三个框架结构呈对称布置，形状为矩形或环形。还包括设置于X、Y、Z方向上的弹性感应梁。所述X方向敏感梁上的压敏电阻以串联方式布置在电桥的一个桥臂，其上的压敏电阻变化能减少与Y轴、及Z轴之间的耦合。Y方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、及Z轴间的耦合。Z方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、Y轴间的耦合。本发明设计巧妙，产品良率高，解决了现有技术中中单质量块压敏电阻式三轴MEMS加速度传感器轴间耦合过大、灵敏度低、测量精度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 框架结构 单质 量块 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计，其特征在于，包括三个框架结构：悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架，所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接。
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