[发明专利]工艺过程中设备离线检测的方法及系统

摘要

本发明公开了一种工艺过程中设备离线检测的方法及系统。其中该方法包括如下步骤工艺加工过程中，检测当前工艺步骤中预设检测设备是否离线，得到检测结果；根据检测结果，当预设检测设备中存在离线设备时，抛出设备离线报警；根据检测结果，当预设设备中不存在离线设备时，返回执行检测预设检测设备是否离线的步骤，直至达到预设终止条件。其可及时发现设备离线的状况，并提醒工艺加工人员进行处理，提高工艺加工的生产效率，同时减小设备离线时继续进行工艺加工造成的工艺气体、晶片等资源的浪费。

主权项

一种工艺过程中设备离线检测的方法，其特征在于，包括以下步骤：工艺加工过程中，检测当前工艺步骤中预设检测设备是否离线，得到检测结果；根据所述检测结果，当所述预设检测设备中存在离线设备时，抛出设备离线报警；根据所述检测结果，当所述预设检测设备中不存在离线设备时，返回执行检测预设检测设备是否离线的步骤，直至达到预设终止条件；所述工艺加工过程中，检测当前工艺步骤中预设检测设备是否离线，得到检测结果，包括以下步骤：设置离线标志信号，读取当前工艺步骤中的预设检测设备的离线标志信号；当存在读取异常的离线标志信号时，发出设备离线的检测结果，并停止读取当前工艺步骤中所有所述预设检测设备的离线标志信号；当所述当前工艺步骤中的所有所述预设检测设备的离线标志信号都读取正常时，得到设备正常运转的检测结果。